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勻膠旋涂?jī)x 型號(hào):WS-650Mz-23NPPB

勻膠旋涂?jī)x 型號(hào):WS-650Mz-23NPPB

簡(jiǎn)要描述:
勻膠旋涂?jī)x 型號(hào):WS-650Mz-23NPPB

四.設(shè)備運(yùn)行條件
.設(shè)備外圍條件要求
1. 環(huán)境要求
a) 無(wú)塵室 1000 級(jí)或者以上
b) 溫濕度 溫度:22±3°C°C
濕度:45 ~ 70%

產(chǎn)品時(shí)間:2024-09-26

訪問(wèn)量:1475

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

生產(chǎn)地址:

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勻膠旋涂?jī)x 型號(hào):WS-650Mz-23NPPB

一、設(shè)備用途和特點(diǎn):
1、用途:用微細(xì)加工、半導(dǎo)體、微電子、光電子和納米技術(shù)工藝中在硅片、陶瓷片上勻膠等工藝與光刻、烘烤等設(shè)備配合使用。設(shè)備能滿足各類(lèi)以下尺寸的基片處理要求,并配制相應(yīng)的托盤(pán)夾具。驗(yàn)收除按賣(mài)方提供的標(biāo)準(zhǔn)基片外,另外可根據(jù)買(mǎi)方要求的 10mm 的碎片和 4 英寸的晶圓片等驗(yàn)收試驗(yàn)要求。
2、特點(diǎn):
(1)外觀整潔,占地面積小
(2)材質(zhì)易于清洗和維護(hù),用戶操作、使用、維修方便;
(3)采用系統(tǒng)結(jié)構(gòu)方式,確保設(shè)備工作的性;

二、 設(shè)備配置明細(xì)
1.勻膠機(jī)主機(jī) WS-650Mz-23NPPB
勻膠機(jī)主機(jī)
2.真空泵 Vacuum Pump Rock300
配套真空泵浦 Rock300
3.真空托盤(pán) Spinner Chuck 50~150mm
勻膠托盤(pán) 50~150mm
4.真空托盤(pán) Spinner Adapter 10~50mm
勻膠轉(zhuǎn)接托盤(pán) 10~50mm
5.系統(tǒng)附件 含密封圈若干、標(biāo)準(zhǔn)樣片、水平儀、連接管
6.操作軟件 Spin 3000 Software
Spin 3000 操作軟件
7.安裝文檔 Installation Documents
安裝文檔
三. 設(shè)備技術(shù)資料
1. 系統(tǒng)概述
1.1嵌鎖,系統(tǒng)蓋板具有嵌鎖裝置,確保操作安丨全;
1.2防腐裝置;
1.3*設(shè)有保護(hù)氣體裝置:旋涂過(guò)程中對(duì)旋轉(zhuǎn)馬達(dá)進(jìn)行丨氣流保護(hù);
1.4通信接口,藍(lán)牙連接
2. 處理腔體
2.1處理腔體內(nèi)徑不小于 9.5 英寸 (241 毫米);
2.2* Wafer 芯片尺寸滿足10*150mm 直徑的材料,方片125x125mm,
無(wú)需換片托;
2.3腔體具有易清潔的 NPP 聚丙烯材質(zhì);
3. 旋轉(zhuǎn)馬達(dá)
3.1轉(zhuǎn)動(dòng)速度至少滿足 12,000rpm,
3.2旋涂加速度不小于 12,000rpm/sec;
3.3馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差不過(guò)±1%;4. 控制系統(tǒng)
4.1工藝時(shí)間設(shè)定范圍至少滿足 5999.9 sec/step ,精度不過(guò) 0.1s
4.2配有高精度 PLC 可編程的控制器,設(shè)置點(diǎn)精度小于 0.006%;
4.3可存儲(chǔ)不少于 20 個(gè)程序段,每個(gè)程序段可設(shè)置不少于 51 個(gè)不同步驟的速度狀態(tài);
4.4*分辨率要小于 0.5RPM,重復(fù)性誤差要小于±0.5RPM,無(wú)需再校準(zhǔn);

5. 配套泵浦
5.1配套真空泵系統(tǒng):無(wú)油型 220~240 伏交流,50/60 赫茲;
5.2真空吸附范圍 25*28 英寸汞柱 (~635~711 毫米汞柱)可調(diào)節(jié),抽速不小于 4.5 SCFM (0.11 立方米/分鐘) ;

6. 系統(tǒng)附件
6.1*贈(zèng)送基于 Windows 的操作軟件;
6.2原-裝進(jìn)-口水平測(cè)試儀;
6.3兩袋密封圈;
*配有兩套可換的廢液接收單元;

勻膠旋涂?jī)x 型號(hào):WS-650Mz-23NPPB

四.設(shè)備運(yùn)行條件
.設(shè)備外圍條件要求
1. 環(huán)境要求
a) 無(wú)塵室 1000 級(jí)或者以上
b) 溫濕度 溫度:22±3°C°C
濕度:45 ~ 70%
c) 安裝維護(hù)距離 與其他設(shè)備或者墻面距離≥30cm
d) 設(shè)備尺寸以及重量 長(zhǎng)寬高:420mm x 380 mm x 290mm
重量:15kg
2.電力要求 220 V±10%, 16 A, 50 Hz
3.動(dòng)力要求
a) 真空 25~28 Inches Hg
b) 氮?dú)?60-70 PSI
c) 干燥空氣 60-70 PSI

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